FFU（層流罩）

FFU（FFU風機過濾機組）特點：

一、靈活性。因為FFU是自帶動力的，它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據需要，分區控制。而且，隨著半導體生產工藝的變化，廠房布局必然要作相應調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會帶來二次投資。

二、可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU（FFU風機過濾機組）設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。

三、負壓通風。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區里，使得密封變得很簡單而且安全。

四、縮短建設周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU（FFU風機過濾機組）成為了一種可能。

五、減少運行成本。雖然在選用FFU（FFU風機過濾機組）時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現出節能、免維護等特點。用在循環減少40